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考夫曼离子源 RFICP 380
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考夫曼离子源 RFICP 380

考夫曼离子源 RFICP 380 特性:
1. 放电腔 Discharge Chamber, 无需电离灯丝, 通过射频技术提供高密度离子, 工艺时间更长.
   2kW & 1.8 MHz, 射频自动匹配
2. 离子源结构模块化设计
3. 自动调节技术保障栅极的使用寿命和可重复的工艺运行
4. 栅极材质钼和石墨,坚固耐用
5. 中和器 Neutralizer, 测量和控制电子发射,确保电荷中性
6. 通气 Ar, O2, N2, others
7. 离子束流: 电流: > 500毫安, 能量 100-1200eV
考夫曼离子源 RFICP 380 技术参数

型号

RFICP 380

放电腔 Discharge

射频

最大功率

>1kW

最大离子束电流

>1000mA

电压

100-1500V

气体

惰性和活性

流量

5-50sccm

真空度

< 0.5mTorr

离子光学(自适应)

OptiBeamTM

离子束直径@ grids

38cm Φ (maximum)

栅极材质

离子束形状

平行. 聚焦, 发散

中和器

LFN 2000

高度

15” (38.1cm)

直径

22.9” (58.2cm)

Feedthrough direct

12”CF

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