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AdNaNo 铠柏电子束蒸镀设备

香港马会开奖结果上海香港马会开奖结果代理铠柏科技制造的超导结制备用电子束蒸镀设备, 铠柏镀膜机专精于金属及氧化物薄膜的制备, 可用于超导量子实验室制备超导结 ( 量子比特和约瑟夫森结 ) 和量子器件, 可以制备大面积, 高稳定性和可重复性超导结. 提供各种类型的 MBE, E-beam, Sputter, IBE. 提供客制化设备, 擅长各种类型系统的集成.

电子束蒸发镀膜机 E-Beam

 EBS-150
香港马会开奖结果  真空度 5E-8 torr, 最大 8inch 样品

电子束蒸发

 EBS-150 UHV
 真空度 5E-10 torr, 最大 6inch 样品

 EBS-300 Dual
 真空度 5E-7 torr, 双 E-gun

磁控溅射镀膜机 Sputter

Sputter 16
香港马会开奖结果 真空度 2E-10 torr

磁控溅射镀膜机

Sputter 24
真空度 5E-10 torr

离子刻蚀 IBE

 IBE
 真空度 5E-10 torr, 离子源 RFICP 100

离子蚀刻 IBE

 IBE
 真空度 5E-10 torr , 离子源 KDC 75

分子束外延 MBE-10

分子束外延设备在长二维材料以及拓扑材料, 氧化物方面都有不错的性能. 如: III-V 族, II-VI 族, Si / SiGe, 金属与金属氧化物 (因为我们有独步全球的激光加热器, 可到 2英寸), 以及 GaN, AlN, AlGaN, InGaN, AlGaInN, CIGS, OLED 等.

MBE-10

分子束外延 MBE-8

MBE-8 可以成长三寸以下的样品, 样品温度可以加到 900 摄氏度, 如果是两寸以下的样品可以到 1100 摄氏度. 可以装置 8个束源炉, 最大容量 40cc

分子束外延 MBE

脉冲激光沉积 PLD-18L

香港马会开奖结果脉冲激光沉积设备 PLD-18L, 它可以与溅射枪, 积液池, 高压流变, 激光束控制相结合,可以放置 8×1 英寸的样品或 4×2 英寸的样品,

脉冲激光沉积 PLD-18L

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